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12寸晶圆减薄{?/a>QZCS-400QD005?b>气静压电主u
1、主要技术指?/span>
2?主要_ֺ指标
①?转台回{_ֺ?0.1um ⑥?轴向刚性≥500N/um
②?动^衡精度等U≤ G0.4 ⑦?轴向最大承载≥3500N
③?动态额定速度范围内振?V?.1mm/s ⑧?径向刚性≥200N/um
④?噪声全速度范围??50 dB ⑨?径向最大承载≥2600N
⑤?主u外壳最高温??10 ? ⑩?重量 240KG
3、特性曲U?/span>
4、外形图
下一个:8寸晶圆减薄{?/a>